15214版图尺寸和数据 - minichao9901/technology GitHub Wiki

Source

  • source cell pitch如果与bump pitch保持一致,那么就可以对齐,几乎不用留额外的走线通道(dio2so)。 按照这个需求,source cell pitch需要22um。
  • 实际上15214的source cell pitch是25um,因此无法对齐,需要额外的走线通道。

Afe

OLB Diode

  • olb dio的pitch必须与bump的pitch保持一致,这样dio2pad走线就不会偏。因此dio pitch=11um*2=22um。所有下层式项目都是这样。
  • dio2pad采用M5,w=6um

OLB Bump

  • 15214 bump wl=21x50um, pitch=11um
  • 15214 dummy bump wl=44x40um, pitch=99um

ILB Bump

  • 15214 bump wl=24x75um, pitch=39um。最左边/右边的bump wl=24x50um,采用下边线齐平的方式对齐

ESD Diode

  • p的AA面积wl=15x5um, n的AA宽度=2um, p/n之间AA的间距s=1um
  • p的外倒角,n的内倒角=0.5um
  • sab覆盖p的AA区域1um,这样子p的AA内部区域没有被SAB覆盖的为5-2=3um

ESD MOS管(MV)

  • w最好30um以上,按照ESD画法
  • s端一排孔,d端2排孔
  • d端的sab覆盖宽度=2um,非sab覆盖的宽度=0.86um,因此d端的总宽度=2+0.86+2=4.86um
  • s端不用sab,s端的宽度=1.18um
  • 环的AA宽度=1um, 4排cont

DNW

  • 55nm华力工艺,dnw2dnw的间距需要8um